교육&세미나

Nanofabrication Lab◈ 2026 Cleanroom Equipment training Schedule (8/3~ 8/7)

보유장비 관련 정보
일      시
2026.07.31~2026.08.07
장      소 108동 B101호 강      사 해당 장비 담당자
소      속 진행자 / 연락처 김민재 / mjkim@unist.ac.kr / 4064
첨부파일

Mask aligner training is canceled due to the instructor’s vacation.

구분 교육명 시간 장소 정원 신청수
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Dicing saw 16:00~17:00 108동 B101호 3 3
Ellipsometer 17:00~18:00 108동 B101호 3 0
Evaporator 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
Sputter 10:00~12:00 108동 B101호 3 3
PE CVD 13:00~14:00 108동 B101호 3 1
LP CVD 14:00~15:00 108동 B101호 3 0
Thermal ALD 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
Furnace 16:00~17:00 108동 B101호 3 0
e-beam litho(attached) 10:00~12:00 108동 B101호 3 2
Maskless laser writer 14:00~16:00 108동 B101호 3 0
Dry etcher 10:00~11:00 108동 B101호 3 3
Wet station 11:00~12:00 108동 B101호 3 3
Surface profiler 15:00~16:00 108동 B101호 3 1
PR Stripper 16:00~17:00 108동 B101호 3 1