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교육&세미나

Nanofabrication Lab◈ 2026 Cleanroom Equipment training Schedule (3/2 ~ 3/6)

보유장비 관련 정보
일      시
2026.02.28~2026.03.06
장      소 108동 B101호 강      사
소      속 진행자 / 연락처 김민재 / mjkim@unist.ac.kr / 4064
첨부파일

구분 교육명 시간 장소 정원 신청수
- - - - 0
Evaporator 10:00~12:00 108동 B101호 3 1
Sputter 10:00~12:00 108동 B101호 3 3
PE CVD 13:00~14:00 108동 B101호 3 0
LP CVD 14:00~15:00 108동 B101호 3 0
Thermal ALD 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
Furnace 16:00~17:00 108동 B101호 3 0
e-beam lithography(attached) 10:00~12:00 108동 B101호 3 1
Maskless laser writer 14:00~16:00 108동 B101호 3 1
Dry etcher 10:00~11:00 108동 B101호 3 0
Wet station 11:00~12:00 108동 B101호 3 0
Surface profiler 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
PR Stripper 16:00~17:00 108동 B101호 3 1