안녕하세요.

연구지원본부 박지현입니다.

 

Cold-SEM(S4800)사용가능합니다.

Y축이 limit으로 가면서 stage 내부의 나사가 풀려있었습니다.

샘플보실때 사용하는 controlloer도 세게 움직이시면,

장기적으로 내부가 갈려지면서 잘 안움직이게 됩니다.

금일 수리 완료하였으니 사용하시면 됩니다.

꼭 주의 해서 사용부탁드립니다.

 

박지현드림.