나노소자공정실

  • 안녕하십니까!
    유니스트 나노소자공정실(UNFC:UNIST Nano Fabrication Cleanroom)
    방문을 환영합니다.

    UNFC는 우리대학의 목표와 비젼을 바탕으로 기초학문의 융합을 통한 원천기술 확보와 더불어 미래의 산업을 이끌어갈 나노 영역의 구조물 제작, 고성능센서소자, 디스플레이소자, 미세 유체 소자 등의 융합기술 개발 지원을 목적으로 하고 있습니다.

    2009년 UNIST의 개교와 더불어 신설된 대학기반 클린룸 시설로써, 50여종에 달하는 최첨단 연구장비를 구축하여 운영 중에 있으며, 동남권 최고의 연구시설로 나아가기 위해 우수한 연구진을 통한 공정 신기술 확보와 나노소자 공정과 관련된 융합기술인재 양성뿐만 아니라 연구 인프라 공동 활용을 통한 산·학·연의 핵심적인 역할을 수행하는 연구 기관으로 발돋움 할 것입니다.

    앞으로도 지속적인 관심과 참여 부탁드리며, 미세 소자 개발을 위한 공정 설계나 의뢰, 또는 나노소자공정실의 발전을 위한 조언이 있으시면 언제든지 연락주시기 바랍니다.

    감사합니다.

  • 대학, 연구소, 산업체의 연구지원 서비스 제공
    • 연구능력 향상을 위한 공정 장비 활용 서비스 제공
    • 동남권 산학연을 위한 Foundry 서비스 제공
    장비 활용 교육 및 워크샵 제공
    • 장비 이용자를 위한 공정 교육 과정 제공
    • 효율적인 공정을 위한 공정 설계 방법 제공
    • 소자 제작 기술 습득을 위한 워크샵 및 Know-how 제공
    새로운 패러다임의 공동연구 추구
    • 첨단 기술 개발을 위한 산학 협력 추구
    • 대형 국가 과제 수주의 필수적인 기반 시설 제공 및 과제 진행
    첨단 융 복합 연구시설 확장 및 기반 구축
    • 원 스톱 공정 지원 시스템 구축
    • MEMS, Nano, Sensor, Material+Bio, Energy 등 연구의 다양성 및 공정 기술 기반 확보

    UNFC

    • 장비운영
      • Photolithography
      • Etch process
      • Thin Film
      • Measurement
    • 연구지원
      • 공정설계지원
      • 공정운영지원
    • 교육지원
      • 공정 프로세스 교육
      • 장비 운영교육
    • 안전관리
      • 입실자 안전교육
      • 장비 안전관리
      • 화공약품 안전관리
      • 고압가스 안전관리