이름 | 모델 | 장비이용의뢰서/예약하기 |
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Wet station_Solvent#1 | 습식세정장치 유기#1 / Wet stationEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Wet station_Solvent#2 | 습식세정장치 유기#2 / Wet stationEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Wire bonder | 와이어 본더 / HB02Equipment location : 108동 B104호(Bldg.108, Room B104) |
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Wire bonder#2 | 와이어본더#2 / FB 700Equipment location : 108동 B104호(Bldg.108, Room B104) |
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XeF2 etcher | XeF2 etcher (지논다이플로라이드 에쳐) / XeF2 Etch SystemEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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패럴린 코팅 시스템(Auto parylene coating system) | 패럴린 코팅 시스템(Auto parylene coating system) / NRPC-500Equipment location : 자연과학관 108동 B101호 나노소자공정실 |
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