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Spin coater & Bake system | 감광액 도포 및 베이크 시스템 / SSP200

배고명 052-217-4189 bgm0421@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

Substrate Bonder | 기판 접합 장치 / SB6L

김민재 052-217-4064 mjkim@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

Surface profiler | 박막 단차 측정기 / P6

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Thickness measurement | 박막 두께 측정기 / ST4000-DLX

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

UHV CVD | 초고진공 화학기상 증착기 / UHV-CVD

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
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Wet station_Acid | 습식 세정장치 / Wet Station

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
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Wet station_Alkari / Wet station

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
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Wet station_CMOS / Wet station

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
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Wet station_HF / Wet station

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
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Wet station_Solvent / Wet station

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
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