보유장비

Metal RIE | 메탈 건식 식각장치

Metal RIE
보유장비 관련 정보
연구실/분야
모델명 Labstar
제조사 TTL
담당자 김강오
연락처 052-217-4182 / ko8809@unist.ac.kr
예약 가능여부 가능
예약단위 1hr 1일최대예약시간 1hr
예약Open(~일 전) 2주전 예약취소불가(~일 전) 2hr
장비위치 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)
  • Description

    Metal RIE is an ion etching system for metal (Al, Ti, Cr, W, and Au) pattern formation.

  • Specifications

    • RF Power : Max. 500W

    • Pressure : 0~1000 mTorr

    • Gas : Cl2, SF6, Ar, O2

    • Sample : Max. 6 inch

    • Chiller : 15 degree

  • Applications

    • Dry etching process for metal layer (Al, W, Ti, and Cr)