Metal RIE | 메탈 건식 식각장치
| 연구실/분야 | |||
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| 모델명 | Labstar | ||
| 제조사 | TTL | ||
| 담당자 | 김강오 | ||
| 연락처 | 052-217-4182 / ko8809@unist.ac.kr | ||
| 예약 가능여부 | 가능 | ||
| 예약단위 | 1hr | 1일최대예약시간 | 1hr |
| 예약Open(~일 전) | 2주전 | 예약취소불가(~일 전) | 2hr |
| 장비위치 | 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) | ||
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Description
Metal RIE is an ion etching system for metal (Al, Ti, Cr, W, and Au) pattern formation.
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Specifications
• Reactor (process chamber) module
- 200 mm electrode with water cooled by heat exchanger
- 4 ~6 inch silicon wafer
• MFCs with bypass lines (BCl3 / Cl2 / Ar / O2 / SF6) installed
• RF generator & auto match network
: 600 W, 13.56 MHz solid state
• RF generator with automatic match unit for bias (RIE) power
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Applications
• Dry etching process for metal layer (Au, Al, Pt, W, Ti, and Cr)