보유장비 리스트

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Cluster ALD | 원자층 증착 장비 / Atomic premium 김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
DC Sputter | 메탈 스퍼터링 시스템 / SRN-120 김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Deep Si Etcher | 깊은준위 건식식각 장치 / Tegal 200 이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Dielectric RIE | 건식 식각장치 / Labstar 이송희 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Metal RIE | 메탈 건식 식각장치 / Labstar 이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
PE CVD_#1 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅰ / PEH-600 강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
PE CVD_#3 (TTL) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅲ / FABStar+ 강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
RF Sputter | 고주파 스퍼터링 시스템 / SRN-120 김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기