보유장비

SAM coater | 기상 자기조립 박막 증착기

SAM coater
보유장비 관련 정보
연구실/분야
모델명 AVC-150
제조사 SORONA
담당자 강해라
연락처 052-217-4167 / haera@unist.ac.kr
예약 가능여부 가능
예약단위 2hr 1일최대예약시간 2hr
예약Open(~일 전) 2주전 예약취소불가(~일 전) 2hr
  • Description

    This machine can grow polymer mono-layer with very solid bonding force by forming O-H layer by natural oxygen on sample and supplied polymer source from vaporizer.

  • Specifications

    • Contact angle : 5 ˚ ~ 110 ˚ (water)

    • Work of adhesion : 3 ~ 100 uJ/m2

    • Wafer sample size : ≤ 300 mm

    • Precursor usage :

  • Applications

    • Nano patterning of bio devices by imprinting & display panel by imprinting

    • Polymer memory device by imprinting