보유장비

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DC Sputter | 메탈 스퍼터링 시스템 / SRN-120

김형일 052-217-4065 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)

Deep Si Etcher | 깊은준위 건식식각 장치 / Tegal 200

김강오 052-217-4182 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Dielectric RIE | 건식 식각장치 / Labstar

김강오 052-217-4182 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Metal RIE | 메탈 건식 식각장치 / Labstar

이선진 052-217-4193 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

PE CVD_#1 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅰ / PEH-600

강해라 052-217-4167 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

PE CVD_#3 (TTL) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅲ / FABStar+

강해라 052-217-4167 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

RF Sputter | 고주파 스퍼터링 시스템 / SRN-120

김형일 052-217-4065 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)