이름 | 모델 | 장비이용의뢰서/예약하기 |
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Deep Si Etcher | 깊은준위 건식식각 장치 / Tegal 200Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Dielectric ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 산화막 건식 식각기 / FABstarEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Dielectric RIE | 건식 식각장치 / LabstarEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Metal ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 금속 건식 식각기 / FABStarEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Metal ICP-RIE#2 | 유도결합플라즈마 금속 건식 식각기#2 / ICP380Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Metal RIE | 메탈 건식 식각장치 / LabstarEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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PR Asher | 폴리머 건식 식각기 / V15-GEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Wet station_Acid#1 | 습식세정장치_산#1 / Wet stationEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Wet station_Acid#2 | 습식세정장치 산#2 / Wet stationEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Wet station_Acid#3 | 습식세정장치 산#3 / Wet stationEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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