보유장비

보유장비 리스트
이름 모델 장비이용의뢰서/예약하기

CCP etcher | CCP etcher (용량성 결합 플라즈마 식각장치) / Telius

김강오 052-217-4182 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 나노소자공정실

Deep Si Etcher | 깊은준위 건식식각 장치 / Tegal 200

김강오 052-217-4182 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Dielectric ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 산화막 건식 식각기 / FABstar

김강오 052-217-4182 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Dielectric RIE | 건식 식각장치 / Labstar

김강오 052-217-4182 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Metal ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 금속 건식 식각기 / FABStar

이선진 052-217-4193 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Metal ICP-RIE#2 | 유도결합플라즈마 금속 건식 식각기#2 / ICP380

김강오 052-217-4182 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Metal RIE | 메탈 건식 식각장치 / Labstar

이선진 052-217-4193 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Plasma PR Stripper | Plasma PR Stripper (플라즈마 감광제 제거기) / PTP300

김강오 052-217-4182 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호

Plasma Treatment System | 폴리머 건식 식각기 / V15-G

이선진 052-217-4193 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Wet station_Acid#1 | 습식세정장치_산#1 / Wet station

김강오 052-217-4182 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)