보유장비

Optical Surface Profiler (비접촉식 표면 및 단차 측정기기) | Optical Surface Profiler (비접촉식 표면 및 단차 측정기기)

보유장비 관련 정보
연구실/분야
모델명 MicroXAM-800
제조사 KLA
담당자 김강오
연락처 052-217-4182 / ko8809@unist.ac.kr
예약 가능여부 가능
예약단위 10분 1일최대예약시간 -
예약Open(~일 전) 예약취소불가(~일 전)
장비위치 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)
  • Description

    이 장비의 원리는 Interferometry이며, 반도체, MEMS 공정 후 미세패턴 및 구조물의 Critical Dimension, Height, Depth, Roughness, Defect 등을 정확하게 측정할 수 있으며, 특히 단시간에 측정하기 어려운 금속 패턴, 식각된 패턴을 비접촉, 비파괴로 빠른 측정이 가능함.

    It can measure CD (Critical Dimension), Height, Depth, Roughness, Defect without non-contact method. Main Principle of this equipment is interferometry.

  • Specifications

    1. RMS Repeatability: 0.1nm

    2. Vertical Rseolution: 0.2nm

    3. VSI Scanning Speed: 1 ~ 29um/sec

    4. X-Y motorized stage with encoders: 152 x 152 mm

    5. 250 um Z-range piezo scan stage

    6. Tilt Substrate Stage: ±6°, manual

    7. Objectives: 10X, 20X, 50X

    8. 3D Profiling program

    9. VSI, PSI mode and stiching mode

  • Applications

    미세패턴, 표면조도, 결함 측정