PECS | 고해상도코팅기
| 연구실/분야 | |||
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| 모델명 | Gatan model 682 | ||
| 제조사 | Gatan | ||
| 담당자 | 이선이 | ||
| 연락처 | 052-217-4023 / ssun295@unist.ac.kr | ||
| 예약 가능여부 | 가능 | ||
| 예약단위 | 1일최대예약시간 | ||
| 예약Open(~일 전) | 예약취소불가(~일 전) | ||
| 장비위치 | 102동 B122호 | ||
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Description
PECS is the ideal instrument for application requiring sample cleaning or etching followed by high-resolution sputter coating.
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Specifications
• Ion guns : One penning ion guns
• Ion beam energy : 1.0 keV to 10.0keV
• Etched area : About 7mm - 10mm dependent on gun energy
• Sample rotation : Varible speed 10 -60 rpm
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Applications
• SEM sample coating and etching