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Furnace_DRY | 불순물 주입 확산로 / KHD-306

Hae-ra Kang 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Furnace_WET | 열처리 확산로 / KHD-306

Hae-ra Kang 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

RTP | Rapid Thermal Processing (급속 열처리 시스템) / AW610

Kang O Kim 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108 building B101 (Nanofabrication center)