Equipment

패럴린 코팅 시스템(Auto parylene coating system) | 패럴린 코팅 시스템(Auto parylene coating system)

보유장비 관련 정보
Laboratory/Field
Model NRPC-500
Maker 누리텍
Technician Hyung Il Kim
Contact 052-217-4065 / hikim78@unist.ac.kr
Status for Reservation 가능
Reservation Unit 6 Maximum Time (per day) 8
Open(~ago) 2 Cancel (~ago) 1
Equipment location 자연과학관 108동 B101호 나노소자공정실
  • Description

    - 패럴린 코팅은 상온에서 표면에 직접 생성 되는 독특한 특성으로 인해 화학적으로 안정적이며, 탁월한 보호막을 형성하여 전자, 우주항공, 의료, 엔지니어링 등 장치 부품 및 표면 보호를 위한 궁극적인 conformal 코팅이 가능함
    - 본 장비의 도입을 통해 기관 내 구성원 뿐 만 아니라 타 대학, 연구소, 기업체 등 외부 이용자들에게 원활한 코팅 공정을 제공함.
    - 전자 기기용 시험 제품의 보호 코팅, 제작된 풍향 센서의 안정성 확보, 반도체 장치 보호 코팅, 열교환기 방습/방진 코팅, 바이오/MEMS 제작 칩 보호 코팅 등에 적용될 것으로 판단됨.

  • Specifications

    1. Vacuum chamber unit

    - Chamber material: Sus304

    - Chamber inner size: D400 x H500(mm)

    - Door open/close: Manual screw handle type or lever handle type

    - MC frame: Chamber & system frame

    2. Vacuum control unit

    - Vacuum pump: BOC Edward/ rotary pump

    - Chiller(cooler): Max –90℃ [t-type thermocouple]

    3. Dimer evaporation and pyrolizer control unit

    - Evaporation(vapor heater): Max 250℃

    - Pyrolizer(furnace heater): Max 1000℃

    4. Adhesion promoter

    - A.P heater: Max 140℃[k-type thermocouple]

    5. Operation and system control

    - Operation: Manual/auto operation by HMI or industrial panel touch PC

    - Historical data management system: temperature, vacuum pressure, control system and fault

  • Applications