보유장비

보유장비 리스트
이름 모델 장비이용의뢰서/예약하기

4point-probe | 표면 저항 측정기 / CMT2000N

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr

Atomic Layer Deposition | 원자층 증착 장비 / Lucida D100

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr

Cluster ALD | 원자층 증착 장비 / Atomic premium

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr

contact angle | 접촉각 측정기 / Phoenix 300

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr

DC Sputter | 메탈 스퍼터링 시스템 / SRN-120

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr

Deep Si Etcher | 깊은준위 건식식각 장치 / Tegal 200

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr

Dicing Saw | 기판 절단장치 / AR06DM

이루다 052-217-4022 luda30159@unist.ac.kr

Dielectric ICP Etcher | 유도결합 플라즈마 산화막 건식 식각기 / FABstar

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr

Dielectric RIE | 건식 식각장치 / Labstar

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr

E-beam Evaporator(Temescal) | 전자빔 금속박막증착 장치 / FC-2000

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr