Equipment

보유장비 리스트
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4point-probe | 표면 저항 측정기 / CMT2000N

Kang O Kim 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr

Atomic Layer Deposition | 원자층 증착 장비 / Lucida D100

Hae-ra Kang 052-217-4167 haera@unist.ac.kr

Cluster ALD | 원자층 증착 장비 / Atomic premium

Hae-ra Kang 052-217-4167 haera@unist.ac.kr

contact angle | 접촉각 측정기 / Phoenix 300

Hae-ra Kang 052-217-4167 haera@unist.ac.kr

DC Sputter | 메탈 스퍼터링 시스템 / SRN-120

Hyung Il Kim 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr

Deep Si Etcher | 깊은준위 건식식각 장치 / Tegal 200

Kang O Kim 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr

Dicing Saw | 기판 절단장치 / AR06DM

Luda Lee 052-217-4022 luda30159@unist.ac.kr

Dielectric ICP Etcher | 유도결합 플라즈마 산화막 건식 식각기 / FABstar

Kang O Kim 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr

Dielectric RIE | 건식 식각장치 / Labstar

Kang O Kim 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr

E-beam Evaporator(Temescal) | 전자빔 금속박막증착 장치 / FC-2000

Hyung-il Kim 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr